CANDIDATURAS:
Processos de Limpeza de Pastilhas Semicondutoras (Bancada Molhada)
Aquecimento de Solventes para Remoção de Foto-Resistentes
Aquecimento de água DI para Lavagem de Wafer
Aquecimento com Ar e Nitrogênio para Secagem de Wafer
Aquecimento de Ácidos, IPA, Piranha, NMP, etc.
Para uso com Sistemas de Passo Único ou Recirculação
CARACTERÍSTICAS & BENEFÍCIOS:
O Caminho dos Fluidos não tem contacto com Elementos de Aquecimento
A mídia é isolada em PFA (Teflon®) Flow-Tube (Aquecimento de Alta Pureza)
Permite o Aquecimento Seguro de Líquidos e Gases Perigosos
O tubo de fluxo é seguro para uso com muitos solventes cáusticos
Flow-Tube Is Field Replaceable (Sem necessidade de chamada de serviço)
Compatível com controles padrão (PID, PLC, Multi-Loop, etc.)
O corpo é revestido com Teflon®, para a máxima limpeza
Tubos de fluxo de auto-drenagem e elementos de aquecimento de longa vida
ESPECIFICAÇÕES:
Potência:
1.5 kW Total a 4,5 kW Total
Faixa de voltagem: 120 - 415 V
Corrente máxima da linha: 30 A por circuito
Tubagem:
.375" OD (3/8") (9,52 mm)
.031” Parede (.80 mm)
Comprimento Total do Tubo de Processo: 190" (4826 mm)
PFA (PerFluoroAlkoxy) / Teflon® (padrão)
PFA de Alta Pureza (atualização opcional)
Pressão máxima: 4,82 bar (70 psi)
O corpo:
Alumínio com Revestimento Protetor de Teflon® Preto
Compartimentos:
NEMA 7 (à prova de explosão)
Temperaturas Máximas de Trabalho:
392°F (200°C)
Sensores:
Termopares tipo K ou J Padrão (Qty. 3)
1 para Controle de Processos
1 para Proteção de Alto Limite
1 para Proteção da Temperatura do Tubo
Acessórios disponíveis:
Jaquetas Isolantes
Conexões de União Reta
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