Mesa de coordenadas linear X120Smotorizadapiezoelétrica
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Características
- Orientação
- linear
- Tipo
- motorizada, piezoelétrica
- Curso
MÍN: 0 µm
MÁX: 115 µm
Descrição
Descrição
A fase piezoelétrica X120S tem um curso até 110µm ao longo da linha central de X e pode ser equipada com os calibres de tensão para uma precisão muito fina até 10 nanômetro.
Opções disponíveis
Estique calibres, vácuo
Estado
Preliminar
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Piezo actuators > Mechanisms
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