Tamanho da bolacha: 156-166mm
Função: SE Dopagem a Laser
Plataforma: Plataforma giratória e scanner Galvo
Câmara de alta precisão para alinhamento
SolarLase-G3SE é um sistema de dopagem a laser SE para produção de células solares c-Si de alta eficiência a 7000+WPH. A sua placa óptica de granito termicamente estável pode alojar dois lasers de 532nm, cada um com a sua própria trajectória de entrega do feixe independente. As trajectórias de entrega do feixe são flexíveis, onde os ajustes do diâmetro do feixe, o ajuste da potência do laser e o controlo do obturador podem ser controlados individualmente. A placa de óptica de granito é essencial para um desempenho óptico e mecânico estável. SolarLase-G3SE é um sistema seguro de laser de Classe I; e está também equipado com sistema de remoção de detritos para manter a peça de trabalho limpa.
SolarLase-G3SE oferece excelentes capacidades de alinhamento de wafers, uma vez que a próxima geração de células c-Si de alta eficiência requer um alinhamento cada vez mais preciso do que antes. As câmaras de alta precisão de imagem podem detectar com precisão as bordas ou marcas das bolachas, permitindo a sobreposição precisa de padrões escritos a laser entre duas etapas sucessivas de processamento.
O software de aplicação de SolarLase-G3SE oferece uma interface de utilizador fácil de utilizar, permitindo a criação, edição, poupança e carregamento de receitas, tornando o processamento de wafers altamente eficiente. Para cada sistema SolarLase-G3SE, avaliamos os requisitos e planos específicos do cliente para que possamos personalizar a ferramenta de modo a melhor se adaptar às necessidades individuais do cliente.
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