Sistema de inspeção óptico Phoenix Ultima

3D2Dde varredura

O Phoenix Ultima, a última geração de sistemas AOI da CIMS, foi concebido para suportar o fabrico de grande volume de substratos IC. Tem capacidade para digitalizar até 4 µm de largura de linha/espaço. A tecnologia ótica de ponta do sistema Prisma™ foi concebida para proporcionar uma cobertura de luz flexível com o máximo contraste, de modo a suportar a aquisição de imagens de alta resolução a uma velocidade de varrimento elevada. O desempenho optimizado é conseguido através da combinação de imagens nítidas de alta resolução com algoritmos de deteção personalizáveis. Equipada com a aquisição de imagens de última geração e capacidades de software avançadas, a família de produtos Phoenix é conhecida pela sua deteção excecional conseguida com a menor taxa possível de falsas chamadas. O Phoenix Ultima é alimentado pelo Spark™ - um inovador motor de deteção multiplataforma. Destaques -Motores lineares para um movimento suave e silencioso -Estrutura mecânica robusta -Mesa de vácuo automatizada -Firmware de processamento de imagem de elevado desempenho -Computador de última geração para processar grandes volumes de dados -Configuração rápida e intuitiva para novos trabalhos -Compatível com automação AMHS frontal/traseira ou robot Opções -Fi - opção de inspeção final para placas acabadas -+2DM metrologia - medição das dimensões do painel -+2CD metrologia - Medição 2D de elementos de circuito -+3DH metrologia - medições 3D da altura do elemento de circuito -+3DP metrologia - perfilagem 3D do elemento de circuito -LDI - opção de inspeção de perfuração a laser -CDB/CDBIC - classificação de defeitos e mapeamento virtual de defeitos -VVS - sistema de verificação virtual