Sistema de laser excimer LineBeampulsadode estado sólidoultravioleta
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Características
- Modo de funcionamento
- pulsado
- Tecnologia
- de estado sólido
- Espectro
- ultravioleta
- Aplicações
- de processo
- Outras características
- excimer
- Potência
5.400 W
- Comprimento de onda
308 nm, 355 nm
Descrição
Os sistemas LineBeam são a tecnologia ótica que permite o fabrico em massa de placas traseiras LTPS em painéis de substrato de grandes dimensões com o máximo rendimento.
Fornecem perfis de feixe de linha com até 1500 mm de comprimento para painéis de tamanho até Gen 10.5. Apresentam homogeneidade de feixe de eixo curto e longo para um rendimento e utilização de feixe máximos. A estabilidade de impulsos superior e a elevada profundidade de campo garantem uma grande janela de processamento.
LINEBEAM - ALGUNS INDICADORES-CHAVE DE DESEMPENHO
Beneficie do perfil de feixe top hat do LineBeam, com excelente homogeneidade nos eixos curto e longo, tudo num comprimento de onda curto de 308 nm ou 355 nm.
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Catálogos
MicroLas
6 Páginas
Excimer Catalog 2016
52 Páginas
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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.