Máquina de deposição por CVD C30S
de camadas finasde parileno

máquina de deposição por CVD
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Características

Método
por CVD
Tipo de deposição
de camadas finas, de parileno

Descrição

Ideal para testes de laboratório e produção industrial de pequenas peças Equipamento versátil com possível actualização para configuração de Multilayer Perfeitamente adequado para: Pequenos e médios componentes (por exemplo, em electrónica, aplicações médicas, etc.) Bolachas até ø 200 mm (8 polegadas) Dimensões gerais (L x W x H) - 2100 x 1370 x 2000mm Peso - 350kg Tamanho da câmara - ∅ 295 x 370 mm Tamanho da ferramenta - ∅ 260 x 320 mm Carga máxima de ferramentas - 100kg Capacidade de carga mais fraca - 150g Capacidade de bombeamento - 40 m3/h Alimentação eléctrica necessária - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz 3 x 25A - 15kW Processável em parileno - Tipo: C, D, N, F-VT4, F-AF4 Câmara termizada - gama de temperaturas - 20 - 30°C Opções - Compatível com todas as opções

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