Placa de fixação a vácuo em cerâmica PLASMAPURE™ ALUMINA

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Componentes cerâmicos para litografia e inspeção de bolachas Perfeitos para aplicações de litografia e manuseamento de bolachas da próxima geração, os nossos componentes cerâmicos ultra-puros garantem uma contaminação mínima e proporcionam um desempenho de vida excecionalmente longo. COMPONENTES PARA LITOGRAFIA E INSPECÇÃO DE BOLACHAS Resistentes ao ataque químico e termicamente estáveis, os nossos componentes cerâmicos de elevada pureza são ideais para o processamento litográfico, manuseamento de bolachas (baixa contaminação) e inspeção de bolachas (durabilidade e dureza extremas, dimensionalmente estáveis). As aplicações incluem: Substratos de fotomáscaras Mandris para bolachas Componentes de plataformas de wafer Mesas de wafer MATERIAIS RECOMENDADOS PARA LITOGRAFIA E INSPECÇÃO DE BOLACHAS Aluminas de alta pureza Carboneto de silício recristalizado UltraClean CeraSiC, UltraSiC™ Carbonetos de silício sinterizados diretamente SUBSTRATOS DE FOTOMÁSCARAS Os substratos de fotomáscaras CoorsTek são feitos de vidro de quartzo sintético de alta pureza para oferecer transmissão superior de luz UV e visível, estabilidade térmica, isolamento elétrico, baixa birrefringência e estabilidade química durável. A tecnologia de polimento avançada e escalável torna estes substratos de fotomáscaras ideais para a modelação microscópica de bolachas a grandes ecrãs planos (FPD). PASTILHAS DE WAFER Os nossos mandris cerâmicos ultra-planos de vácuo para bolachas, mandris de passo, mandris porosos e mandris electrostáticos melhoram a gestão do rendimento do processamento de bolachas semicondutoras. As configurações de contacto de baixa superfície minimizam o risco de partículas na parte de trás para aplicações sensíveis. Os nossos mandris para wafer fornecem: Capacidades ultra-planas Polimento espelhado Peso leve excecional Elevada rigidez Baixa expansão térmica Φ 300 mm de diâmetro e mais Extrema resistência ao desgaste