Medidor de planeza Tropel® UltraFlat 200

óptico

O Sistema de Máscara Tropel® UltraFlatTM 200 foi projetado especificamente para a indústria de fotomáscara. Ele oferece a menor incerteza de medição para especificações de nivelamento da máscara sempre apertadas. Os recursos do dispositivo de retração exigem não apenas wafers mais planos, mas também máscaras mais planas. O sistema UltraFlatTM é usado para medir a planicidade de fotoformatos e máscaras fotográficas em todos os estágios de fabricação e uso, incluindo polimento de substrato, revestimento e padronização para analisar a tensão do filme e verificação. O sistema UltraFlatTM utiliza interferometria de incidência quase normal, design estrutural sólido como rocha, técnicas de fabricação ótica de última geração e o renomado software de análise de mudança de fase da Tropel para fornecer 20 nanômetros de incerteza de medição. O sistema é rastreável pelo National Institute of Standards and Technology (NIST) e fornece medições em conformidade com os padrões SEMI. Uma configuração automatizada de manuseio e medição de fotomáscara também está disponível.