Lente em vidro ULE®

em siliconeUVpara óptica

O vidro Corning® ULE® (Ultra-Low Expansion Glass) 7972 é um vidro de silicato de titânia com características de expansão quase nulas que o tornaram o material de eleição em aplicações únicas, tais como blocos de referência de máquinas-ferramenta, grelhas, blocos de referência, espelhos de referência de interferómetro e espelhos de telescópio. O ULE é um líquido monofásico super-resfriado com um CTE muito próximo de 0 ppb/K. O EUV ULE 7973 foi concebido para satisfazer as necessidades de máscaras e substratos ópticos para aplicações EUVL. A transição litográfica de 193 nm para 13,4 nm exigiu uma grande mudança de conceção na ótica de passo, de refractiva para reflectiva. Na ótica reflectiva, os materiais do substrato devem ser puramente passivos. A luz incidente deve refletir-se nos revestimentos multicamadas da ótica e da fotomáscara sem a introdução de qualquer distorção mecânica ou ótica causada pelo substrato subjacente. Para minimizar a distorção provocada pelas alterações mínimas de temperatura e cumprir as rigorosas especificações EUVL, os substratos devem ter um coeficiente de expansão térmica (CTE) próximo de zero e baixas variações de CTE pico a vale (P-V). Os requisitos de CTE extremamente baixos são especificados em partes por bilião por grau kelvin (ppb/K). Os exigentes requisitos de CTE também estão a forçar melhorias na metrologia e a Corning continua a melhorar os métodos de metrologia para satisfazer as exigências da EUVL. É possível a adaptação discreta da temperatura de cruzamento zero. O vidro de baixa expansão TSGTM 7972 é o terceiro membro da família de vidros de baixa expansão de silicato de titânia da Corning. O TSG tem um requisito de coeficiente absoluto de expansão térmica (CTE) mais flexível para as aplicações que não exigem um material de expansão quase nula.