Máquina de gravação de PCI química Infinity FA

O Sistema Infinity FA é uma solução rentável para dispositivos de gravura e perfilagem com elevado rendimento, proporcionando resultados rápidos a um baixo custo de propriedade. Proporciona uma excelente uniformidade de retardamento e danos mínimos em grandes áreas. O pacote SIMS totalmente integrado fornece a precisão necessária para localizar pequenos defeitos para análise posterior. Utilizando tecnologias de gravura múltipla, as taxas de gravura de diferentes componentes de uma única camada podem ser combinadas, permitindo a remoção uniforme de toda a camada, independentemente da composição química. Apoiada pelo compromisso de parceria da Denton, a ferramenta Infinity FA proporciona um desempenho de qualidade e um elevado tempo de funcionamento do sistema. A nossa equipa de assistência global irá fornecer-lhe um calendário de manutenção preventiva de confiança e um apoio reactivo para assegurar a melhor produtividade e resultados de produção. Análise de falhas de semicondutores Atraso Melhoria do rendimento Engenharia inversa Análise de falhas de microdisplay O sistema Infinity FA System é uma ferramenta de gravação de alto desempenho concebida para a preparação de amostras de análise de falhas, perfil de película fina crítica e retardamento no fabrico de semicondutores. A gravura por feixe de iões (IBE), a gravura por feixe de iões reactiva (RIBE), e a gravura por feixe de iões quimicamente assistida (CAIBE) são utilizadas para fornecer taxas uniformes de gravura por camadas de vários materiais. O sistema inclui um pacote SIMS robusto para analisar a remoção de película fina. É compatível com ESD e é totalmente controlado por computador para alta automatização e repetibilidade. Um espectrómetro de massa iónica secundária (SIMS) permite um controlo preciso do ponto final para atrasar as pastilhas semicondutoras e identificar defeitos, a fim de melhorar o rendimento do processo.