Sistema robótico Versa

A plataforma de cluster proprietária da Denton Vacuum Versa é uma opção de front-end automatizada para o fabrico de grandes volumes. Pode ser configurada com até duas fechaduras de carga de cassete e seis câmaras ou módulos de revestimento. Um manipulador robótico de grau semicondutor move os substratos dos fechos de carga para os módulos a revestir em múltiplas camadas de diferentes materiais sem quebrar o vácuo. O Versa foi concebido para trabalhar com módulos de processo de 200mm ou 300mm. É compatível com o módulo de sputter Discovery e o sistema Voyager PE-CVD, e apresenta módulos de sputter etch dedicados e opções metrológicas dedicadas. Também está disponível um módulo dedicado de pré-limpeza, juntamente com o condicionamento do substrato. Para permitir a produção de grandes volumes durante a deposição de película fina, o Versa funciona no software ProcessPro-HV da Denton, que utiliza um programador de materiais e um gestor de receitas totalmente automatizados para carregar os módulos e executar etapas de processo em múltiplas câmaras com precisão e eficiência. ProcessPro-HV é compatível com o SEMI E95 e apresenta um registo de dados e gráficos abrangentes dentro da ferramenta de controlo e análise do processo. O Versa permite uma maior eficiência de produção para satisfazer requisitos de rendimento mais elevados. Automatiza o processo de carregamento para que se possa maximizar a eficiência, e é compatível tanto com a deposição de metais como de óxidos. A configuração multicâmara permite revestir várias camadas de cada vez sem quebrar o vácuo, e pode poupar tempo ventilando apenas o fecho de carga da cassete em vez de todo o módulo de sputter.