Máquina de tratamento de superfície por plasma Bell Jar 35

a vácuo

A câmara é a câmara de plasma ou câmara de vácuo que mantém o gás de processo em baixa pressão. A câmara é concebida como um reservatório de pressão. É feita de um material não susceptível de gravação a partir dos gases de processo utilizados, muitas vezes aço inoxidável. Alguns processos requerem câmaras de vácuo feitas de vidro de sílica de alta pureza. Como padrão, as câmaras (recipientes) são feitas de aço inoxidável Na fábrica de investigação Bell Jar, a câmara de plasma é um sino feito de vidro de sílica de alta pureza