Nanoposicionador Z Model ZSA-1000C

verticalpiezoelétricode 1 eixo

O estágio piezoelétrico de nanoposicionamento da DSM ZSA-1000C apresenta movimento guiado por flexão em uma faixa de deslocamento vertical de 1 mm para processos de varredura, metrologia e inspeção. O design cinemático estável e rígido promove o paralelismo no movimento de saída com rolo e inclinação mínimos, bem como a capacidade de resposta dinâmica para excelente estabilidade e controle de posição. O estágio pode ser emparelhado com o SA-500 da DSM para controle de loop fechado com uma sonda capacitiva de alta resolução para fornecer estabilidade de posição de 20nm e perfis de velocidade muito estáveis sobre regiões de varredura especificadas. - Curso em laço aberto: 1050 mícrons ± 10% - Curso em malha fechada: 1000 mícrons ± 10% - Resolução em malha fechada: 20 nanômetros típicos Rigidez: 0,4 N/micron ± 10% - Linearidade: 0,12% típica - Runout (Ɵх, Ɵу): <100 micro radians típico - Freqüência ressonante descarregada: 200 Hz ± 10% - Freq ressonante @100g: 150 Hz ± 10 - Capacidade de força de empurrar/puxar: 75/150 N Máximo - Capacidade de carga: 75 N Máximo - Força lateral: 10 N Máximo - Capacitância Elétrica: 30 micro Farads ± 10 - Largura x Comprimento: 62,5 x 125 mm - Altura: 25,1 ± 0,1 mm - Missa: 1 quilograma ± 10 - Material: Aço inoxidável - Comprimento do cabo: 1,5 metros A estrutura do ZSA-1000C acomoda facilmente o uso de uma variedade de sensores de deslocamento, incluindo sondas capacitivas (padrão) para uma verdadeira capacidade de controle de movimento de nanoposicionamento. O servoamplificador DSM SA-500 fornece controle autônomo de loop fechado com comunicação serial, feedback analógico ou digital e E/S digital para recursos adicionais de controle e comunicação.