Mesa de coordenadas linear 2000 µm, 0.15 N/µm, 150 V

piezoelétricade 2 eixosde longo curso

Os produtos de FlexFrame PiezoActuator™ de DSM são os atuadores piezoeléctricos flexure-guiados que usam mecanismos da alavanca para amplificar mecanicamente o movimento da cerâmica piezo. Os flexures em cada mecanismo são projetados fornecer a orientação estável do movimento e minimizar a resistência que o frame pôde dar à atuação piezoeléctrica. DSM projeta os flexures permanecer dentro do limite de fatiga do material sob circunstâncias de funcionamento padrão. FPA-2000E FlexFrame PiezoActuator de DSM (TM) foi desenvolvido para satisfazer exigências na bolacha que posiciona para a indústria da fabricação do semicondutor. O atuador piezo incorpora um preload para o movimento bidirecional e um frame mecânico da amplificação do titânio ou o inoxidável do aço. Veja a família completa de projetos padrão de FPA na ligação associada da correia fotorreceptora. Os inquries feitos sob encomenda são bem-vindo, e nós pedimos simplesmente o “o que “o controle de movimento crítico” exigência da missão pode nós o ajuda com?”