Mesa de coordenadas XYZ

linearpiezoelétricade 3 eixos

estágio de 3 linhas centrais para o vácuo Quando um de clientes de DSM exigiu um sistema de posicionamento three-axis feito sob encomenda, DSM leveraged o projeto flexure-baseado de seus atuadores piezo do flextensional para criar estágios independentes de X, de Y, e de Z. O X e o Y resultantes encenam cada um fornecem 200 mícrons do curso, e a linha central de Z tem um curso de 500 mícrons. O conjunto original do estágio foi projetado para a compatibilidade do vácuo e fornecido com os modelos do benchtop do amplificador piezo linear de VF de DSM. O projeto básico dos sistemas do estágio é evolutivo capacidades menores/maiores do deslocamento. Como uma continuação que pode entregar-se ao sistema original, open-loop de XYZ acima, o cliente de DSM pediu a capacidade do circuito fechado para os machados de X e de Y. DSM incorporou pontas de prova capacitivas e usou os amplificadores SA-100 servo lineares para fornecer o servocontrol autônomo. Umas 24 entradas análogas do bocado aceitam o sinal do alvo da posição, e o I/O digital fornece bandeiras para a “em-escala” e disparadores por aquisição de dados.