Estufa de câmara JETFIRST

térmicaa vácuocompacta

O sistema ECM JetFirst RTP é um forno de lâmpadas compacto e robusto, adequado para o recozimento térmico rápido (RTA) de uma vasta gama de substratos e estruturas de materiais (Si de grau eletrónico, vidro de aço, SoG c-Si, III-V, II-VI, germânio, quartzo, cerâmica, etc.) com um tamanho de 100 mm a 300 mm de diâmetro. Este forno de lâmpada está equipado com uma câmara de reator metálica arrefecida a água e tem, portanto, um efeito de memória ultra-baixo. VANTAGENS E BENEFÍCIOS O sistema JetFirst é um forno de lâmpada que foi desenvolvido para satisfazer os requisitos das universidades e dos laboratórios de investigação. O sistema de controlo da medição da temperatura proporciona um controlo térmico preciso e repetível em toda a gama de temperaturas. O conjunto de lâmpadas, a gama superior e a janela de quartzo estão montados numa tampa superior rotativa, dando acesso total à câmara para facilitar a carga e a descarga da bolacha. Estão disponíveis susceptores de grafite revestidos de carboneto de silício para o processamento de várias amostras pequenas e semi-materiais compostos. A pedido, pode ser fornecida uma câmara de processamento sobresselente para evitar a contaminação cruzada, caso tenham de ser realizados vários processos no mesmo reator. A elevada fiabilidade e as características de elevado desempenho do JetFirst permitem a produção em pequena escala. O processo pode ser efectuado à pressão atmosférica ou sob vácuo. Um sistema PID fornece um controlo térmico preciso e repetível em toda a gama de temperaturas. O controlo do processo RTP é feito através de um computador, com o supervisor dedicado PIMS, que permite a programação de receitas e a monitorização de todo o sistema RTP.