Bomba de vácuo turbomolecular iXL

secade simples estágioa plasma

é uma linha de bombas a seco compactas de baixa energia para aplicações de serviços leves, como manuseamento de pastilhas, PVD e metrologia. Desligamento rápido da bomba da câmara e consumo de energia extremamente baixo As bombas secas iXL600(N) e iXL1000(N) estão entre as menores e mais silenciosas disponíveis para aplicações de serviços leves As variantes iXL600M e iXL1000M são processos endurecidos e especialmente projetadas para corrosão dielétrica (óxido) e outras aplicações semelhantes As bombas secas iXL600(N) e iXL1000(N) apresentam alta velocidade de bombeamento e baixo consumo de energia A iXL900R é a bomba loadlock mais rápida atualmente disponível em sua categoria para aplicações de loadlock FPD. Os clientes podem reduzir significativamente seus custos operacionais e tempos de instalação com esta nova bomba, que é particularmente adequada para as maiores câmaras loadlock usadas para aplicações de deposição de vapor de plasma (PVD). Além disso, os clientes precisarão de menos bombas por câmara loadlock, o que reduz o tempo de instalação, os custos de sistematização, a manutenção e o consumo de concessionárias. O Modo Verde permite a redução do uso das concessionárias durante períodos de inatividade, reduzindo custos e ajudando a melhorar o desempenho ambiental