Mesa de coordenadas XY EZ-0745-ZC
Zcom base giratóriacom motor linear

mesa de coordenadas XY
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Características

Orientação
XY, Z, com base giratória
Tipo
com motor linear
Outras características
com mancais aerostáticos
Curso

5 mm
(0,197 in)

Velocidade

10 mm/s

Carga

10 kg
(22,05 lb)

Descrição

O eixo ZC com rolamento de ar EZ-0745 destina-se a ser integrado numa plataforma XY (por exemplo, EZ-0715). Devido ao seu design altamente integrado, apenas é necessária uma altura total reduzida de aprox. 138 mm. O ângulo de rotação é limitado a ± 3°. Uma elevada repetibilidade de ± 1,5 μrad permite um alinhamento muito preciso do substrato. O eixo Z é protegido contra a rotação através de 2 almofadas de rolamento de ar e é dinamicamente acionado por 2 bobinas de voz opostas. Está integrado um cilindro pneumático com rolamento de ar para desacoplamento do peso. É possível um ajuste individual, específico do cliente, do curso Z.

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Catálogos

EZ-0745-ZC
EZ-0745-ZC
2 Páginas
* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.