Eixo linear com motor linear EZ-5504

de precisãocompactoajustável

Com o eixo de focagem EZ-5504, a EIZENBERGER implementou um conceito de eixo completamente novo e inovador. As características externas são as dimensões compactas de 99 x 99 x 80 mm (C x L x A) e uma abertura central contínua de aprox. 35 mm para componentes ópticos. O rolamento de ar sem deslizamento permite uma precisão máxima em toda a gama de cursos de 18 mm e uma repetibilidade na gama dos nanómetros. Para além do erro de posição extremamente baixo, o baixo erro de inclinação do eixo é particularmente notável. O eixo de foco é permanentemente compensado magneticamente e projetado para uma carga útil de 250 g. A compensação de peso é ajustável para massas de 50 a 300 g. O eixo de foco pode ser movido dinamicamente através de um motor de bobina de voz. Como sistema de medição é utilizada uma cabeça de medição Renishaw com uma resolução de 1 nm e uma interface BiSS-C. Aplicações: O eixo de foco é adequado para aplicações de alta precisão nos domínios da litografia, exposição de máscaras, aplicações de digitalização ou, em geral, para posicionamento de ópticas e sensores. Devido às suas dimensões compactas e ao baixo peso do sistema, o eixo pode ser facilmente integrado em muitas aplicações. O rolamento de ar e os materiais utilizados predestinam o eixo de focagem para aplicações em salas limpas.