Filtros descartáveis Planarcap® LPX
Filtros descartáveis de ponto de uso para abrasivos de sílica e alumina para óxido e cobre CMP
Projetado para uso com soluções de polpa de sílica e alumina - mais comumente usadas em aplicações de cobre, ILD, STI e tungstênio CMP
Disponível em uma ampla gama de classificações de retenção de 1 µm a 5 µm
Atende às necessidades das aplicações de filtração de polpas abrasivas CMP no ponto de uso
Disponível como filtros descartáveis com conexões Flaretek®
Construção totalmente em polipropileno com meios de filtração plissados
Materiais:
Médio: Profundidade plissada polipropileno
Núcleo, gaiola e concha: Polipropileno
Ligações:
Entrada/saída: conexão Flaretek® de 3/8" ou 1/4"
Ventilação/drenagem: Conexão Flaretek® de 1/4"*
Condições máximas de funcionamento:
Pressão operacional máxima: 0,27 MPa (2,7 bar, 40 PSI) a 25°C
Pressão diferencial máxima de avanço/retrocesso 0,27 MPa (2,7 bar, 40 PSID) a 20°C
Temperatura máxima de funcionamento: 40°C (104°F)
Notas:
*O número de peça SKNP 010L2F está disponível com ventilação/drenagem MNPT de 1/8"
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