Filtro de ar SilverSet™

de carvão ativadopara aplicações químicasplissado

“ Filtros químicos de SilverSet™ para o alojamento E2600 Sistema ótico avançado do varredor e para resistir a proteção O meio do carbono ativado em filtros da entrada impede a conversão de PGMEA ao ácido acético, que pode causar o fotoresistente que processa a variação e a corrosão do material A configuração de filtro de Asymetric impede a conversão de HDMSO a TMS, que causa a contaminação da lente do varredor Os filtros híbridos que contêm o carbono alto-ativado mais meios plymetric avançados removem uma série completa dos contaminadores que incluem ácidos, bases e produtos orgânicos condensáveis vida do filtro de 2-ano na eficiência da remoção de 99% para ácidos, bases e produtos orgânicos condensáveis em condições típicas da baía da foto da sala de limpeza O projeto plissado do filtro no quadro rígido, profundo aperfeiçoa a área de superfície componente ativa para a utilização e a eficiência máximas A disposição de série do filtro com o interstack que prova portos fornece níveis múltiplos de proteção e permite-os a monitoração de desempenho do filtro e a detecção adiantada da descoberta Desempenho químico da filtragem validado pelos serviços analíticos de Entegris, oferecendo a garantia que todas as reivindicações do desempenho do filtro estão verificadas com apoio de data. \ /html”