Difusor de ar Chambergard™ II Max

Difusor de ar - Chambergard™ II Max - Entegris
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Descrição

“ Chambergard™ II Max Gas Diffuser Volume alto completamente e ventilação rápida ao difusor de gás da atmosfera Fornece a taxa de transferência do volume alto e a ventilação rápida à atmosfera A remoção de maior de 0,003 µm das partículas do gás entrante minimiza defeitos em bolachas Recomendado para o tela plano e indústrias fotovoltaicos Materiais: Membrana: PTFE Apoios: PFA Tampa caber \ /mesh: 316L de aço inoxidável Avaliação da remoção: remoção do ≥ 99,9999999% de partículas do µm do ≥ 0,003 no gás Limpeza a jusante: Limpeza 0,01 µm Pressure1 diferencial máximo: barra 2,5 (a pressão de entrada máxima é a barra 1,4 quando estado do alto-vácuo) Temperature2 de funcionamento máximo: 120ºC (248ºF) Garantia: 3 anos ou 1.000.000 cycles3 Nota: temperatura ambiente 1at e em gás inertes gás inertes de 2in temperatura ambiente 3at, em gás inertes e em bar do ≥ 5 da pressão diferencial \ /html”

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