Filtro de gás Wafergard® III NF-30
de partículasde membranaem linha

Filtro de gás - Wafergard® III NF-30 - Entegris - de partículas / de membrana / em linha
Filtro de gás - Wafergard® III NF-30 - Entegris - de partículas / de membrana / em linha
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Características

Produto filtrado
de gás, de partículas
Elemento filtrante
de membrana
Outras características
em linha, para altas temperaturas
Pressão de funcionamento

MÁX: 70 bar
(1.015,264 psi)

MÍN: 10 bar
(145,038 psi)

Tamanho de filtragem

0,003 µm

Descrição

“ Em-linha NF-30 filtros de Wafergard® III do gás Filtragem ínfima superior para a filtragem ultrapure do sistema de gás Mais limpo, a maioria de filtros inteiramente metálicos eficientes disponíveis A membrana patenteada do filtro do níquel oferece a resistência de corrosão superior e a compatibilidade excelente com gás inertes e reativos. (Não recomendou para o uso com CO, O3 e gás de baixo nível do entorpecente do hidruro.) Ideal para aplicações da alta temperatura e da dinâmico-pressão Usado tipicamente para fluxos até 30 SLPM Materiais: Elemento de filtro: Filtro de membrana patenteado, aglomerado do níquel. Alojamento: Alojamento de aço inoxidável de Electropolished F20 Interior de superfície do revestimento: Ra do μin =5 Avaliação do escape do hélio: 2' 10-10 atm-centímetros cúbicos qualificado \ /sec. 1' 10-9 atm-centímetros cúbicos testado \ /sec. Limpeza a jusante: Particles1: Menos de 0,03 partículas \ /Liter (μm =0.003 Condições operacionais: Pressão de entrada máxima: barra 70 (1000 libras por polegada quadrada) em 100°C Enviam máxima \ /reverse pressão diferencial: barra 10 (150 PSID) Temperatura de funcionamento máximo: Gás inertes 400°C na barra 35 (500 libras por polegada quadrada); Gás corrosivos e reativos: 50°C em 70 1000 libras por polegada quadrada) da barra (\ /html”

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