Unidade de desgaseificação LiquidLens™ LLD2
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Descrição
LiquidLens™ Sistema de Desgaseificação LLD2 UPW
Desgaseificação UPW para scanners de imersão litográfica
O sistema LiquidLens LLD2 proporciona estabilidade e pureza das lentes fluidas, reduzindo o gás dissolvido e monitorando a qualidade UPW
Mantém continuamente a temperatura e o nível de pressão desejados do fluxo de saída UPW
Garante a segurança do processo e da máquina com alarmes de segurança e sensores de vazamento
Fornece monitoramento em tempo real de parâmetros críticos na ferramenta e no sistema de monitoramento central do cliente.
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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.