Sistema de posicionamento arquitetura empilhada VULCANO2

2-3 eixostipo pontepara inspeção de wafers e metrologia

A VULCANO2 é a nossa arquitetura de pórtico de eixos empilhados que combina os nossos famosos motores de núcleo de ferro, rolamentos mecânicos e codificadores ópticos de alta qualidade para proporcionar um excelente desempenho geométrico com elevada dinâmica. Quando comparada com a nossa família CHARON2 empilhada, a VULCANO2 apresenta principalmente um maior ciclo de trabalho e capacidades de carga útil. O seu tamanho compacto maximiza a eficiência de custos sem comprometer o rendimento e os ciclos de funcionamento. Quer seja standard ou personalizada, a VULCANO2 assegura uma repetibilidade e precisão consistentes, mesmo durante operações prolongadas. Esta plataforma é ideal para aplicações que requerem precisão, tais como metrologia de sobreposição e processos de flip-chip em placas de grandes dimensões. Caraterísticas Até 6 graus de liberdade Alimentação de vácuo incorporada e cabos de sinal do cliente ao nível do mandril Eis as principais caraterísticas Estabilidade de posição nanométrica Assegura uma precisão de posicionamento exacta durante períodos prolongados. Compatibilidade com salas limpas ISO 2 Adequado para ambientes controlados com requisitos de limpeza rigorosos. Correção da inclinação da ponta com o módulo combinado Z3TM+ Permite um ajuste preciso para um posicionamento ótimo. Função Z grosso com o módulo combinado Z3TM+ Mecanismo de elevação eléctrica adicional de 12 mm para permitir o carregamento e descarregamento de bolachas. Fornecimento de vácuo incorporado ao nível do mandril Facilita o funcionamento eficiente, assegurando o manuseamento correto do material. Tempos curtos de movimentação e estabilização Resposta e estabilização rápidas para uma maior produtividade.