UMA SOLUÇÃO NOVA PARA O ISOLAMENTO DE VIBRAÇÃO
O sistema ativo quieto do isolamento é um módulo novo que cancela vibrações fase-nascidas e terra-nascidas ao longo de 6 graus de liberdade, impedindo que perturbating o processo que ocorre sobre sua plataforma do movimento.
Na maioria das vezes aplicações da parte alta na indústria do semicondutor para integrar a instalação complexa do equipamento, que, é conectada de um modo ou de outro ao granito da plataforma do movimento. Como tal, toda a vibração a nível do granito traduz em irregularidades e em uns tempos de estabelecimento mais longos a nível da ferramenta do processo. Os agradecimentos à solução de ETEL, obtendo livrada daquelas vibrações foram feitos nunca tão eficientemente!
EMPURRANDO O DESEMPENHO DO MOVIMENTO PARA O NÍVEL SEGUINTE
A série quieta está empurrando uma estratégia dianteira da integração da etapa um ETEL mais adicional. A partir de agora, uma plataforma avançada do movimento de ETEL inclui não somente o sistema avançado do movimento e seus controladores avançados associados do movimento, mas pode igualmente tirar proveito do módulo ativo proprietário do isolamento de ETEL. Isto faz ETEL o único fornecedor do sistema do movimento capaz de cobrir um espaço tão largo da fonte!
Agradecimentos a um sensor de baixo nível de ruído proprietário e, e a arquitetura determinística do controle de movimento baseou em 1 Gb TransnET, ETEL reduz o movimento e o acordo uns tempos homogêneos, inteiramente digitais aos valores inauditos. Com uma precisão da reação da aceleração que alcança mais altamente de 99%, menos de 1% da energia gerada por um movimento da fase do movimento permanece a nível do granito! A massa do granito no sistema ativo do isolamento pode consequentemente ser mantida pequena, que reduz por sua vez os bens imobiliários totais e maciço, ao processar ferramentas tire proveito diretamente de um ambiente mais quieto.
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