Eixo rotativo com acionamento direto DXRH

para semicondutorde precisão

O DXRH é a mais nova adição às soluções de eixos rotativos ETEL. Trata-se de um eixo rotativo de 1 DOF com base em rolamentos mecânicos, proporcionando um desempenho excepcional em termos de precisão e precisão. Com um codificador de 360'000 linhas e características mecânicas incomparáveis directamente comparáveis com a solução de rolamento de ar sem a complexidade associada, o DXRH é servido no seu coração pela HEIDENHAIN melhor em tecnologia de codificadores e rolamentos da classe, e a tecnologia de accionamento directo ETEL motor toothless sem ondulação de binário. Totalmente compatível com interfaces ETEL padrão, o módulo DXRH está disponível como um módulo autônomo ou integrado no portfólio do sistema ETEL. Ele também fornece um caminho de atualização de desempenho para todas as aplicações baseadas em DXR+ sem qualquer redesenho, já que as interfaces são idênticas. O módulo rotativo DXRH pode ser integrado às plataformas empilhadas CHARON2 e VULCANO2. Ele traz alta rigidez, alta precisão, alta precisão, alto nível de limpeza, bem como baixa deformação térmica induzida graças ao seu design em aço inoxidável. Com foco em facilitar as aplicações de semicondutores, o módulo continua a corresponder a todos os diversos mercados e necessidades que requerem soluções para rotação de alta precisão e alta precisão. Adequado para diversas aplicações e indústrias, o módulo rotativo DXRH é especialmente adequado para aplicações de Controle de Processo de Wafer, tais como Metrologia de Sobreposição, Dimensão Crítica e Metrologia de Filme Fino, bem como fotônica.