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O Medidor de Capacitância de Borda INFICON é um instrumento de medição de vácuo de alta precisão projetado para ambientes de fabricação agressivos. O sensor cerâmico ultra-puro, resistente à corrosão e com temperatura controlada comprovada, proporciona uma estabilidade de vão superior ao longo de muitos anos, aliada a uma estabilidade zero de última geração. O Edge vem com o exclusivo sensor de proteção patenteado INFICON que protege o medidor contra sub-produtos indesejados do processo. A eletrônica avançada oferece uma ampla gama de condicionamento de sinal configurável para todas as aplicações e interface de barramento de campo opcional EtherCAT. O conceito inovador de aquecimento permite um resfriamento até a superfície de toque e economiza valioso espaço para ferramentas. O INFICON Edge é o menor instrumento de medição de vácuo do seu tipo.
Benefícios
Compacto, poupa espaço de ferramentas valioso
Fácil integração, EtherCAT, grande variedade de escalas e flanges completas, padrão com dois pontos de ajuste
Fácil um botão de pressão ou comando remoto de sinal zero, deslocamento de zero ajustável
Porta de diagnóstico para serviço e manutenção rápidos
Dois anos de garantia, maior vida útil com conceito avançado de aquecimento e proteção de manômetro
Sem recalibração a longo prazo devido à excelente estabilidade e repetibilidade do sinal, mesmo em aplicações de plasma ásperas
Conformidade e normas: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Aplicações Típicas
CVD, Etch, PVD e outros processos de produção de semicondutores
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