Vacuômetro capacitivo de membrana CDG025D

com sensor cerâmicodigital

CDG025D A linha INFICON SKY CDG025D de manômetros com diafragma de capacitância com compensação de temperatura de alta precisão foi projetada para um desempenho estável em ambientes de ferramentas de manufatura agressivos. A eletrônica digital avançada melhora o desempenho do medidor e oferece recursos de fácil manuseio, como a função de botão zero e ajuste do setpoint. O sensor cerâmico resistente à corrosão proporciona uma excelente estabilidade zero com uma longa expectativa de vida útil de vários milhões de ciclos de pressão, incluindo explosões atmosféricas. Uma blindagem exclusiva do sensor (patente pendente) protege o manômetro da contaminação do processo. Um design mecânico robusto e eletrônica digital melhoram a compatibilidade EMC, a estabilidade a longo prazo e a compensação de temperatura. O CDG025D estabelece novos padrões para uma rápida estabilidade após a ligação e uma rápida recuperação da exposição à pressão atmosférica. Benefícios A escala completa varia de 100 mTorr ... 1000 Torr Estabilidade rápida após ligar o aparelho Rápida recuperação da pressão atmosférica Sensor cerâmico resistente à corrosão Excelente estabilidade do sinal a longo prazo Temperatura compensada Sensor protegido contra contaminação Uma função de botão zero Ampla gama de fontes de alimentação Aplicações Típicas Equipamento de fabricação de semicondutores para Etch, CVD, PVD, ALD Armazenamento de dados e equipamento de produção de display Equipamentos de vácuo industriais Medição geral de pressão de alta precisão