BPG402
ATM para Medidor de Vácuo Ultra-Alto
O medidor combinado INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG402-S, funciona como dois medidores em uma única unidade compacta medindo de 5×10-10 mbar para a atmosfera (3,8×10-10 Torr para a atmosfera). A combinação de tecnologias reduz a complexidade de instalação, configuração e integração. Escolha o BPG402-S com dois filamentos de irídio revestidos de óxido de ítrio para um processo acessível e repetível para basear as medições de pressão em um pacote econômico. Os elementos sensores com dados de calibração a bordo garantem uma alta reprodutibilidade na troca de sensores.
Benefícios
Extremamente ampla gama de medição de 5×10-10 mbar à atmosfera (3,8×10-10 Torr à atmosfera)
Excelente repetibilidade na faixa de pressão de processo de 10-8 ... 10-2 mbar de 5%
O intertravamento Pirani protege o filamento da queima prematura
Dois filamentos de ítrio de longa duração revestidos de óxido de ítrio
Disponibilidade de visualização gráfica e interfaces Fieldbus opcionais
O ajuste automático de alto vácuo Pirani reduz as intervenções do operador
Elemento sensor de fácil troca com dados de calibração a bordo garante alta reprodutibilidade
Conformidade RoHS
Aplicações Típicas
Medição de pressão em processo semicondutor e câmaras de transferência
Revestimento industrial
Medição e controle geral do vácuo na faixa de vácuo baixo a ultra-alto
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