BAG402
Medidor de Vácuo de Médio a Ultra-Alto
O INFICON único Bayard-Alpert Hot Ion Gauge BAG402 cobre uma ampla faixa de medição de 5×10-10 mbar a 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr). Escolha o INFICON BAG402 para um processo acessível e repetível para basear as medições de pressão em um pacote compacto de manômetro ativo. Os filamentos duplos únicos e suportados oferecem precisão superior, longevidade e longevidade.
Benefícios
Faixa de medição de 5×10-10 mbar a 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr)
Excelente repetibilidade na faixa de pressão de processo de 10-8 ... 10-2 mbar de 5%
A detecção de sobrepressão protege o filamento da queima prematura
Dois filamentos de ítrio de longa duração revestidos de óxido de ítrio
A selecção automática da corrente de emissão reduz a complexidade do controlo
Elemento sensor de fácil troca com dados de calibração a bordo garante alta reprodutibilidade
Conformidade RoHS
Aplicações Típicas
Medição de pressão em processo semicondutor e câmaras de transferência
Revestimento industrial
Medição e controle geral do vácuo na faixa de vácuo baixo a ultra-alto
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