Vacuômetro capacitivo de membrana CDG160D

com sensor cerâmicosem visor

CDG160D Os manômetros de alta temperatura INFICON SKY CDG160D são a sua melhor escolha para medição e controle precisos da pressão total. Os medidores CDG160D são controlados a temperatura a 160 °C para um desempenho superior em processos exigentes de semicondutores e plasma. Estão disponíveis para escalas completas de 1 Torr a 1000 Torr, com todos os tipos de flanges e interfaces de barramento de campo comuns e fornecem um sinal de pressão linear de 0 a 10 V, independente do tipo de gás. Os manômetros de capacitância INFICON utilizam um diafragma cerâmico de alumina ultrapura, que é à prova de corrosão. As vantagens do sensor cerâmico são melhor estabilidade do sinal, recuperação mais rápida da atmosfera, menor tempo de aquecimento e uma vida útil extraordinária. Os INFICON CDG são sensores de pressão de alta qualidade e econômicos para aplicações exigentes em semicondutores, plasma e vácuo. Benefícios Menor CoO (custo de propriedade), aquecimento 50% mais rápido, baixo consumo de energia eficiente Fácil integração, grande variedade de escalas completas, flanges e interfaces, padrão com dois pontos de ajuste Fácil um botão de pressão ou comando remoto de sinal zero, deslocamento de zero ajustável Porta de diagnóstico para serviço e manutenção rápidos Dois anos de garantia, vida útil mais longa com conceito de aquecimento e proteção de manômetro Sem recalibração a longo prazo devido à excelente estabilidade e repetibilidade do sinal, mesmo em aplicações de plasma ásperas Conformidade e normas: CE, EN, UL, SEMI, RoHS Aplicações Típicas Etch, CVD, PVD e outros processos de produção de semicondutores Processos químicos e corrosivos a alta temperatura Processos gerais de filme fino e de vácuo que requerem proteção de bitola