Para as empresas de fabrico de bolachas a meio da cadeia e para as empresas de embalagem e ensaio a jusante na cadeia da indústria de semicondutores, é adotado um sistema de deteção paralelo multicanal de campo claro e escuro desenvolvido de forma independente para detetar os defeitos de aspeto das bolachas semicondutoras e dos grãos com gráficos.
Vantagens do produto:
- Disponível numa variedade de tamanhos
Este equipamento pode ser utilizado para bolachas com padrão de 4-8 polegadas
- Pode detetar uma variedade de defeitos
Detecta defeitos como riscos, colapso posterior, diferença de cor, fissuras, riscos, resíduos de metal e perda de metal
- Resolução de alta precisão
Resolução do sistema: 0.2-0,8 μ m
- Velocidade de deteção rápida
Bolacha com padrão: 15 minutos / bolacha quando o número de defeitos é inferior a 200
---