Face às empresas de produção de matérias-primas a montante da cadeia da indústria de semicondutores, o sistema de medição confocal desenvolvido independentemente é utilizado para detectar o tamanho e a planicidade das pastilhas semicondutoras brutas e epitaxiais.
Vantagens do produto:
Vasta gama de aplicações
Utilizada para bolacha original de 4-8 polegadas, substrato e bolacha epitaxial de vários materiais e condições de polimento
Elevada precisão de medição
Gama de espessuras: precisão de medição de 0-1mm: ± 1 μ M precisão de repetição: 0,2 μ m
Curto tempo de medição
Tempo de medição: 30s / PCS (de acordo com a trajectória de detecção do cliente)
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