Sistema de medição para wafers MicroProf® FS

O FRT MicroProf® FS é uma ferramenta de metrologia de bolachas totalmente automatizada, configurável para uma vasta gama de aplicações na fundição de bolachas, utilizando soluções tanto standard como personalizadas. Flexibilidade e versatilidade são palavras-chave quando se trata de soluções metrológicas para as aplicações actuais da fundição de silício. MicroProf FS fornece uma abordagem modular para criar uma ferramenta multi-sensor totalmente automatizada que pode resolver todas as tarefas de medição necessárias. É por isso que lhe chamamos a Estrela da Fundição! Para a sua componente principal de metrologia, a comprovada ferramenta de metrologia multi-sensor FRT MicroProf 300 é utilizada para permitir a medição de diferentes produtos e - utilizando um conceito de metrologia híbrido - aumenta a precisão das medições em amostras onde um único sensor ou princípio de medição simplesmente não é suficiente. O sistema de medição da MicroProf FS está equipado com uma configuração de base de granito, com uma fixação de amostra de três pontos ou com um mandril de vácuo.