Sistema de medição de espessura MicroProf® 100

ópticopara waferscompacto

O FRT MicroProf® 100 é a ferramenta universal de metrologia de superfície para a determinação rápida e fácil da topografia, espessura do filme e espessura da amostra. Como uma unidade de mesa compacta, e portanto o membro mais pequeno da família multi-sensor MicroProf, a MicroProf 100 oferece a flexibilidade total dos seus irmãos maiores. Baseia-se na nossa tecnologia comprovada SurfaceSens, na qual diferentes métodos de medição óptica - que de outra forma só podem ser encontrados em soluções individuais - são fundidos num dispositivo universal e que poupa espaço. Além disso, o FRT MicroProf 100 pode ser equipado com a opção TTV para inspecção de amostras de dupla face. Isto permite medir a parte superior e inferior da amostra simultaneamente e determinar a espessura da amostra durante o mesmo processo de medição. Devido à sua concepção modular, esta ferramenta de metrologia pode ser adaptada à sua aplicação específica. Para além dos vários sensores que podem ser adicionados, o software também pode ser configurado individualmente, e as tarefas de medição podem ser realizadas manual ou automaticamente.