FUD-1 Model-12 (semi. /LCD) permanece as mesmas vantagens que Model-12.It igualmente caracteriza um tipo sensor da pilha para produções do semicondutor/LCD. O tipo sensor da pilha é muito pequeno, e o material é PFA a aplicar-se à exigência das produções do semicondutor/LCD.
Tipo pequeno transdutor da pilha
Nenhuma contaminação [material: PFA]
Nenhuma substituição periódica exigiu
Vantagens
Precisão alta e estabilidade
Quase meintenance da taxa
A instalação fácil
Operação fácil
Appiactions
Hydroperoxide na pasta do CMP
Controle da diluição para H2O2, TMAH, HNO3, H2SO4, HCl, etc.
Monitoração da concentração do HF, do NH4OH, do KOH, do IPA, etc.
Monitoração da taxa gravura em àgua forte do HF, do H2SO4, etc.
Princípio
A velocidade ultrassônica em um líquido é determinada pela concentração e pelas medidas temperature.FUD-1 a velocidade e o tempearture exatamente, e pelos calcurates a concentração do líquido da velocidade e o tempearture com a curva de calibração armazenada na ROM dos dados.
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