Materiais para imagiologia positiva a seco e por imersão, e desenvolvimento de tom negativo (NTD)
Vasta gama de sistemas de imagiologia de alta resolução para exposição a 193 nm, incluindo imagiologia positiva a seco e por imersão e revelação de tons negativos (NTD)
- Elevado rendimento
- Resolução superior
- Amplas janelas de processo
- Baixos níveis de defeitos
- Perfis verticais
- Série GAR
A série GAR de produtos é adequada para trabalhar com uma vasta gama de aplicações que requerem exposição a seco a 193 nm
- Série FAiRS para PTD
A série de produtos FAiRS é adequada para trabalhar com uma vasta gama de aplicações que requerem exposição por imersão a 193 nm e desenvolvimento de tom positivo
- Série FAiRS para NTD
A série de produtos FAiRS é adequada para trabalhar com uma vasta gama de aplicações que requerem exposição por imersão a 193 nm e desenvolvimento de tons negativos
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