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Resina para semicondutores KrFde alta resistênciafotossensívelde alta estabilidade térmica
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Características
- Aplicações
- para semicondutores
- Outras características
- de alta resistência, fotossensível, de alta estabilidade térmica
Descrição
As séries GKR são sistemas fotossensíveis KrF de tom positivo que cobrem uma ampla gama de aplicações.
- Materiais não PFOS/PFAS
- Aplicação de alta relação de aspecto
- Resistência superior ao ataque de plasma e implantação de íons
- Amplas janelas de processo
- Baixos níveis de defeitos
- Estabilidade a longo prazo
- Perfis verticais
- Ampla cobertura de espessura
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