O MiNY PL é um sistema de inspecção de bolachas micro LED utilizando o método de medição por fotoluminescência (PL).
- Nome do modelo : C15740-01
- Tamanho da bolacha suportada: 100 mm (4 polegadas) ou 150 mm (6 polegadas) (outros tamanhos negociáveis)
- Tempo de medição :
- Aprox. 12 minutos
- (Objectiva 10×, medição PL, pastilhas de 4 polegadas)
- Comprimento de onda de medição PL : R, G, B
- Resolução espacial : 1 μm/pixel (modo padrão), 0.5 μm/pixel (modo de alta resolução)
- Itens de medição : Anormalidade da forma, intensidade PL, anormalidade do comprimento de onda PL
- Dimensões externas / peso : 2000 mm (L) × 1878 mm (A) × 1130 mm (P) / Aprox. 1800 kg
- Sala limpa : Compatível
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