Máquina de deposição PECVD FALO

de camadas finaspara aplicações fotovoltaicas

É adequado para o crescimento de alumina densa e outros materiais de película de passivação traseira no processo de bateria de perc de silício cristalino de alta eficiência. Comutação contínua entre várias películas; Apoiar o mecanismo de empurrar o barco em ambas as extremidades para eliminar a instabilidade, melhorar a velocidade, aumentar a carga e melhorar consideravelmente a fiabilidade (patente). O tempo de entrada e saída do barco não deve ser superior a 20 segundos (excluindo pegar e soltar o barco); Mecanismo de porta dupla do forno com formato especial para reduzir a perda de calor (estrutura patenteada da porta dupla do forno); Tecnologia de eléctrodos de barco de grafite: contacto da superfície do elétrodo elétrico, os eléctrodos dianteiro e traseiro são complementados e o elétrodo traseiro é ajustável fora do tubo do forno; Corpo do forno de arrefecimento rápido: é adoptada a mais recente tecnologia patenteada, de modo a que a temperatura do corpo do forno possa ser rapidamente reduzida para a temperatura necessária e a taxa de arrefecimento possa ser aumentada em mais de 25%, melhorando significativamente a uniformidade da temperatura no tubo do forno; Modo de dissipação de calor paralelo patenteado da posição de armazenamento do barco: melhora o efeito de arrefecimento, encurta o tempo de arrefecimento em mais de 15%, evita o fundo e a entrada de ar da frente da consola para melhorar a limpeza interna da consola; Ferramenta auxiliar de elevação do tubo de quartzo, que reduz significativamente a dificuldade de instalação, manutenção e substituição do tubo de quartzo; A compacidade da película é superior à do plasma indireto; Tem melhor efeito de passivação do que o ALD.