Estufa de difusão

de câmarade recozimentode oxidação

A difusão a baixa pressão é atualmente considerada uma forma eficaz de melhorar efetivamente a eficiência de conversão das células solares. A difusão a baixa pressão é atualmente considerada uma forma eficaz de melhorar efetivamente a eficiência de conversão das células solares. A difusão a baixa pressão/recozimento por oxidação dispersa melhora o percurso livre molecular da fonte de difusão e resolve os problemas de profundidade e uniformidade da difusão; em comparação com a difusão à pressão atmosférica, apresenta algumas vantagens significativas, tais como elevada produtividade, elevada resistência ao quadrado, repetibilidade do processo, baixo consumo da fonte, limpeza e proteção do ambiente, etc. Este equipamento é utilizado principalmente para o processo de dopagem por difusão e recozimento por oxidação de bolachas de silício no fabrico de células solares de silício cristalino. Caraterísticas principais Processo maduro de alta capacidade, sistema de carga e descarga: design equilibrado e simétrico para aumentar a estabilidade; Corpo do forno de arrefecimento rápido: A mais recente tecnologia patenteada faz com que a temperatura do corpo do forno desça rapidamente para a temperatura necessária, a taxa de arrefecimento é aumentada em mais de 25%, o que pode melhorar a uniformidade da temperatura no tubo do forno, obviamente; Os gases de escape são recolhidos por um condensador de alta eficiência arrefecido a água para garantir um funcionamento estável e fiável dos tubos, válvulas, filtros e bombas de diafragma e longos períodos de manutenção; Conceção estável da conduta da fonte anti-interferência para reduzir a flutuação da resistência quadrada causada pela perturbação de factores ambientais; Sistema MES/CCRM com arquitetura completa e desempenho excecional.