Esta máquina foi concebida para aplicar uma camada de AlOx e SiNx na parte de trás das bolachas, o que irá melhorar a taxa de recombinação para aumentar a eficiência da célula, minimizando a luz retransmitida e maximizando a reflexão da luz.
Características
Alto rendimento: 5.485 wafers/h (640 wafers/barco)
Tempo de ciclo: 42 min
Tempo de actividade: 97%
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