Esta máquina foi concebida para dopar fósforo e boro para formar a "junção p-n", um componente crítico das células solares de silício cristalino.
Especificação
POCl₃
Alto rendimento: 7.854 wafers/h (2.400 wafers/barco)
Tempo de ciclo: 110 min
Tempo de actividade: 99%
BBr₃
Alto rendimento: 3.600 wafers/h (2.400 wafers/barco)
Tempo de ciclo: 240 min
Tempo de actividade: 99%
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