Estufa vertical LP
de difusão

Estufa vertical - LP - HANWHA MACHINERY - de difusão
Estufa vertical - LP - HANWHA MACHINERY - de difusão
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Características

Configuração
vertical
Função
de difusão

Descrição

Esta máquina foi concebida para dopar fósforo e boro para formar a "junção p-n", um componente crítico das células solares de silício cristalino. Especificação POCl₃ Alto rendimento: 7.854 wafers/h (2.400 wafers/barco) Tempo de ciclo: 110 min Tempo de actividade: 99% BBr₃ Alto rendimento: 3.600 wafers/h (2.400 wafers/barco) Tempo de ciclo: 240 min Tempo de actividade: 99%

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