Armazém automático vertical para cassetepara placascom controle constante de temperatura e de umidade
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Características
- Tipo
- vertical
- Aplicações
- para cassete, para placas
- Outras características
- com controle constante de temperatura e de umidade
Descrição
Este sistema de armazenamento automático destina-se ao sistema de logística limpa para semicondutores, que armazena e classifica a bolacha FOUP, FOSB, POD e cassete. Pode ser implementado em vários tipos de formas, tais como tipo câmara, tipo rack e outros que se adequem às especificações exigidas pelos diferentes processos de semicondutores.
Especificação
Limpeza do ambiente: Classe1 ~ Classe1000
Velocidade: 1,5 m/s
Acc/Dec: 2,5m/sec²
Vibração: Não superior a RMS 0,5 G
Purga: Purga PN2 em todos os momentos
Controlo ambiental: humidade, temperatura, pressão, concentração de oxigénio
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