Sendo o sistema de logística limpa para semicondutores, é um sistema de elevação e armazenamento automático que transfere a bolacha FOUP&FOSB para cada piso.
Especificação
Curso de elevação: Máximo 60m
Velocidade de elevação: 360m/min
Tempo de carregamento do garfo: Dentro de 3sec
Ac/Dec: 2m/seg²
Vibração: Não superior a RMS 0.8G
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