Espectrômetro de fluorescência de raios X FISCHERSCOPE® XDV-µ® WAFER
automáticode mediçãoautomático

Espectrômetro de fluorescência de raios X - FISCHERSCOPE® XDV-µ® WAFER - HELMUT FISCHER SRL - automático / de medição / automático
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Características

Tipo
de fluorescência de raios X
Âmbito de utilização
de medição, automático
Outras características
automático

Descrição

Os Wafers possuem as mais altas exigências à tecnologia de medição utilizada. Em primeiro lugar, as superfícies são muito sensíveis. Em segundo lugar, as estruturas são tão pequenas que só dispositivos especiais podem analisá-las. Devido à mesa de medição programável com mandril de vácuo, o FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ WAFER foi concebido especificamente para a indústria de semicondutores. A óptica policapilar integrada no dispositivo XRF focaliza os raios X em pontos de medição mais pequenos de 10 ou 20 µm em tempos de medição curtos com alta intensidade. Assim, o XDV-µ WAFER permite analisar microestruturas individuais de forma muito mais precisa do que qualquer dispositivo convencional. E, claro, isto pode ser feito de forma totalmente automática. Características • Instrumento especial para medições automáticas de camadas finas e sistemas multicamadas em bolachas de 6 a 12 polegadas de diâmetro • Tubo Microfocus Ultra com ânodo de tungstênio para um melhor desempenho nos menores pontos com a µ-XRF; ânodo de molibdênio opcional • Filtro 4 vezes substituível • A óptica policapilar permite pontos de medição particularmente pequenos de 10 ou 20 µm FWHM e resolução local óptima • Detector de desvio de silício 20 mm² ou 50 mm² para máxima precisão em camadas finas • Etapa de medição precisa e programável com mandril de vácuo para medições automatizadas em estruturas pequenas • Processador digital de pulsos DPP+. Tempos de medição ainda mais curtos com o mesmo desvio padrão*

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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.