Um sistema para estudos de dessorção programada de temperatura UHV (TPD/TDS)
A estação de trabalho TPD possui uma câmara UHV multiportos com estágio de amostra aquecido acoplado a um analisador de filtro triplo de alta precisão com detector digital de contagem de íons de pulso para sensibilidade e resolução de tempo finais.
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A Estação de Trabalho TPD Hiden é um sistema experimental completo para estudos de dessorção programada de temperatura UHV (TPD). O analisador de massa com filtro triplo é configurado com uma camisa refrigerada dando ao analisador uma ótima sensibilidade com o mínimo de contribuições de fundo para os produtos de dessorção da amostra. Um rápido bloqueio de carga de amostra com mecanismo de transferência de amostra é incluído para proporcionar uma rápida mudança de amostra.
Espectrômetro de massa PIC Hiden 3F para aquisição rápida de dados (>500 pontos de dados por segundo)
Câmara Multiport UHV para fixação de instrumentação adicional (por exemplo, elipsometria)
Mecanismo de transferência linear de amostras e bloqueio de carga, incluindo válvula de gaveta e viewport
Fase da amostra aquecida a 1000 °C
Z-drive para um posicionamento ideal da amostra/detector
Camisa de cozedura (200 °C máx.)
Controle integrado de protocolos experimentais por software
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