Espectrômetro de massa HMT

de quadrupolopara monitoramento de processos

Um sistema RGA dual mode para diagnóstico do vácuo e monitoramento do processo O espectrômetro de massa quadripolar Hiden HMT é um sistema RGA exclusivo de modo duplo capaz de operar a pressões de até 5×10-3 mbar sem a necessidade de bombeamento diferencial. O funcionamento a esta pressão é alcançado utilizando uma combinação de fonte iónica/filtro quádruplo especialmente concebida e um software que corrige a não-linearidade da abundância. A especificação única de alta pressão torna o HMT ideal para aplicações de monitoramento de processos. Análise de gases residuais Processamento a vácuo Perto do XPS atmosférico, APXPS Revestimento óptico de filme fino CVD / MOCVD / ALD O HMT é para análise do processo de vácuo e análise de gases residuais, e é vital para verificações de condições de execução do processo, e na análise do processo para detecção de contaminantes inesperados. O sistema HMT também pode operar em modo RGA da mesma forma que um RGA quadrupolar tradicional. Os detectores duplos Faraday / multiplicador de elétrons fornecem sensibilidades parciais de pressão na faixa de 10-13 mbar. Os processos típicos que podem ser monitorados incluem CVD, gravura, PECVD e PVD. Uma ferramenta RGA de processo para solução de problemas e monitoramento. Modo HMT para operação de alta pressão até 5×10-3 mbar (pressão parcial mínima detectável 5×10-8 mbar) Modo RGA para operação de alta sensibilidade a P < 10-4 mbar (pressão parcial mínima detectável 2 x 10-11 mbar) 100 amu mass range, interface de controle remoto (PC) através do software MASsoft Professional PC 100 amu mass range, interface de controle remoto (PC) através do software MASsoft Professional PC Estabilidade (menos de ±1% de variação de altura em 24 h) Controle do software MASsoft via RS232, USB ou sistemas múltiplos via Ethernet LAN