Espectrômetro de massa HALO 201 MBE

de processode monitoramentopara análise de gases

Um sistema de análise de gases para aplicações de epitaxia por feixe molecular Os sistemas Hiden HALO foram concebidos para aplicações de RGA, análise de gases e monitorização de processos, incluindo detecção de fugas, análise de tendências e pesquisa de vácuo. Produção de semicondutores Células de combustível O analisador específico para MBE é construído a partir de materiais compatíveis e concebido para uma utilização prolongada em ambientes MBE e inclui, como padrão, cablagem de molibdénio em vez de cobre e uma cobertura da fonte de iões resistente à contaminação. Cablagem de molibdénio em vez de cablagem de cobre para melhorar a vida útil do sistema RGA em ambientes MBE Cobertura da fonte de iões resistente à contaminação Multiplicador duplo de electrões Faraday/placa de canal Pressão parcial mínima detectável até 2 x 10-13 mbar Opção de extensor térmico para funcionamento do RGA durante a cozedura